Grundlagen der CMOS-Technologie

Dieses Buch richtet sich an Studierende der Elektrotechnik und Elektronik an Technischen Universitäten und Fachhochschulen, aber auch an Prozessingenieure in der Halbleiterfertigung und Schaltungsentwickler. Es bietet einen Einstieg in die Technologie der integrierten CMOS-Schaltungen und liefert das hierfür erforderliche Hintergrundwissen. Mit diesem Buch wird dem überproportionalen Wachstum der Halbleiterindustrie, dem zunehmenden Fachkräftemangel in diesem Bereich und dem Bedarf an deutschsprachiger Literatur auf diesem Gebiet Rechnung getragen. Ziel des Buches ist es, Zusammenhänge und Wechselwirkungen zwischen der zugrunde liegenden Halbleiterphysik, den fertigungstechnischen Methoden zur Herstellung integrierter Schaltungen, den elektronischen Eigenschaften digitaler CMOS-Schaltungen und dem Entwurf bzw. der Entwicklung solcher Schaltungen darzustellen.