Кремний – Материал Наноэлектроники
Герасименко Н.Н., Пархоменко Ю.Н.
Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях.
Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур.
Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур.
年:
2007
出版社:
Техносфера
语言:
russian
页:
357
ISBN 10:
5948361012
ISBN 13:
9785948361017
系列:
Мир материалов и технологий
文件:
DJVU, 6.46 MB
IPFS:
,
russian, 2007