Technologie hochintegrierter Schaltungen
Dr.-Ing. Dietrich Widmann, Dr.-Ing. Hermann Mader, Dr.-Ing. Hans Friedrich (auth.)
Dieses Buch beschreibt kompetent und umfassend die aktuellen Technologien zur Herstellung von hochintegrierten Schaltungen bis zur Prozeßintegration für den 256-Mbit-Speicher. Es wendet sich damit an fortgeschrittene Studenten sowie Ingenieure und Naturwissenschaftler in Forschung, Entwicklung und Fertigung. Die gewaltigen Entwicklungen in der Prozeßtechnologie der letzten Jahre finden sich in dieser Neuauflage wieder: Planarisierungstechniken, neue Materialien wie Refraktärmetalle, modernste Prozeßarchitekturen für CMOS-, Bipolar-, BICMOS- und Smart-Power-Technologien. Hinzu kommen wesentlich verbesserte Einzelprozesse in Schichttechnik, Lithographie, Ätztechnik und Dotiertechnik mit selbstjustierenden Verfahren. Die Autoren, selbst aktiv an diesen Fortschritten beteiligt, geben Informationen aus erster Hand.
种类:
年:
1996
出版:
2
出版社:
Springer-Verlag Berlin Heidelberg
语言:
german
页:
366
ISBN 10:
3642648320
ISBN 13:
9783642648328
系列:
Halbleiter-Elektronik 19
文件:
PDF, 9.67 MB
IPFS:
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german, 1996
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